Hava duş odasının performans göstergeleri, temizliğini ve performansını değerlendirmek için önemli göstergelerdir. Hava duş odasının bazı yaygın performans göstergeleri şunlardır:
1. Arıtma seviyesi: Hava duşunun arıtma seviyesi genellikle uluslararası standartlara veya endüstri normlarına göre sınıflandırılır, ortak standart ISO 14644-1'dir. Standart, temizliği ISO 5 ila ISO 9 gibi farklı seviyelere sınıflandırır. Hava duşu, istenen arıtma seviyesine göre tasarlanmalı ve çalıştırılmalıdır.
2. Yüksek hızlı hava akış hızı: Hava duş odasındaki yüksek hızlı hava akışı, insanların veya nesnelerin yüzey kirleticilerini gidermek için önemli bir araçtır. Yüksek hızlı hava akış hızı genellikle gerçek talebe ve hava duşunun tasarımına bağlı olarak 0.3 ile 0.6 m/s arasındadır.